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シリコンマイクロ構造内の熱と電位分布


National Research Council
S.B.Beale' Djebbar M.L.Post

シリコンマイクロ構造内の熱と電位分布

概略:MEMSで使用されるシリコンチップの温度分布と電位分布を求める。
シリコンチップの形状について2ケース計算し比較を行う

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